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用于真空镀膜的公自转式镀膜设备的制作方法 X技

2019年8月27日  本发明涉及镀膜设备领域，更具体地说，尤其涉及一种用于真空镀膜的公自转式镀膜设备。背景技术： 传统的镀膜机转架都是简单的公转，只要启动转架的传动装置，转架在镀膜机内部就会不停的旋转，无法进行自转反面镀

公转与自转均可独立调速的真空镀膜机工件转架运动机构

2016年2月23日  本发明公开了一种公转与自转均可独立调速的真空镀膜机工件转架运动机构，本发明设置两个驱动机构，并通过设计工件转架三重运动机构之间的联动关系，使本发明工件转

公自转转架装置及真空镀膜机pdf专利下载原创力专利 book118

2023年7月25日  摘要：本实用新型公开了一种公自转转架装置及真空镀膜机，涉及真空处理技术领域。 该公自转转架装置包括自转轴、公转轴、公转盘和自转子轴，自转轴穿设于公转轴内

公自转转架装置及真空镀膜机的制作方法

2023年7月27日  1、本实用新型的目的在于提出一种公自转转架装置及真空镀膜机，该公自转转架装置产生的颗粒少，且公转盘内部产生的颗粒不易进入真空镀膜室，提高了应用该公自转转架装置的真空镀膜机的镀膜质量。

公转与自转均可独立调速的真空镀膜机工件转架运动机构的

2016年5月25日  【专利摘要】本发明公开了一种公转与自转均可独立调速的真空镀膜机工件转架运动机构，本发明设置两个驱动机构，并通过设计工件转架三重运动机构之间的联动关系，使

浅析镀膜机结构原理及检漏技巧 百度文库

真空镀膜机由3部分组成(见图1)：抽真空系统、电气系统及镀膜室，其中抽真空系统包括机械泵和油扩散泵两部分。 在室顶部及靶中心水平安装一个制有“V”形滚珠导轨的固定内齿圈，作为工

一种用于真空镀膜机的自转式工架机构 百度学术

一种用于真空镀膜机的自转式工架机构,自转齿轮机构包括有旋转缸,旋转缸的旋转轴穿过镀膜机本体,该旋转轴连接有曲柄摇杆机构,曲柄摇杆机构的另一端连接有导向滑块,导向滑块的下方活动

矢量科学丨拆解真空镀膜设备各系统及零部件（上）

2024年1月23日  根据反应原理不同，真空镀膜设备大致可分为PVD（物理气相沉积）、CVD（化学气相沉积）、ALD（原子层沉积）。 虽然，真空镀膜设备在不同应用场景下呈现高度定制性，但总体而言，大致可分为 真空形成系统、发

真空镀膜机 百度百科

真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜，具体包括很多种类，包括真空电阻加热蒸发，电子枪加热蒸发，磁控溅射，MBE分子束外延，PLD激光溅射沉积，离子束溅射等很多种。

公转与自转均可独立调速的真空镀膜机工件转架运动机构

2016年2月23日  本实用新型公开了一种公转与自转均可独立调速的真空镀膜机工件转架运动机构,本实用新型设置两个驱动机构,并通过设计工件转架三重运动机构之间的联动关系,使本实用新

真空镀膜机价格最新真空镀膜机价格、批发报价、价

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公自转转架装置及真空镀膜机 豆丁网

2024年1月9日  实用新型内容 [0004] 本实用新型的目的在于提出一种公自转转架装置及真空镀膜机，该公自转转架装 置产生的颗粒少，且公转盘内部产生的颗粒不易进入真空镀膜室，提高了应用该公自转转 架装置的真空镀膜机的镀膜质量。

平面行星系统修正挡板校正膜厚均匀性 ResearchGate

2024年8月21日  但是，由于真空镀膜 机中行星系统公转、自转的灵活调节，放置在真空镀 膜机行星夹具上的平面光学元件具有很好的位置随 机性，导致修正挡板

一种真空镀膜机行星式工件架[发明专利] 百度文库

2013年9月11日  7 根据权利要求 l、5、6 所述的真空镀膜机行星式工件架，其特征在于 ：所述链轮至少 有一个链条张紧器。 8 根据权利要求 2 所述的真空镀膜机行星式工件架，其特征在于 ：所述转笼行星架一 端外Βιβλιοθήκη Baidu的表面设一屏蔽挡板，环包转笼行星架一端外径和旋转体。

真空镀膜机 百度百科

真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜，具体包括很多种类，包括真空电阻加热蒸发，电子枪加热蒸发，磁控溅射，MBE分子束外延，PLD激光溅射沉积，离子束溅射等很多种。主要思路是分成蒸发和溅射两种。

公转与自转均可独立调速的真空镀膜机工件转架运动机构的

真空镀膜机内都置有用于装夹被镀工件的工件转架运动机构。以立式真空离子镀膜机为例，常用的工件转架运动机构的运动方式通常可分为两重运动或三重运动，自转盘随公转盘公转的同时并进行自转，部分镀膜机除前述基础运动外，还具有第三重运动，即工件自身自转或间歇式自转。现有技

真空镀膜 SJTU

2004年9月6日  现以真空蒸镀、真空溅射为例，介绍真空镀膜的基本原理和工艺过程。其它镀膜方法，如离子蒸镀、气相沉积等，可参阅有关著作。 原理 1．真空蒸发镀膜 蒸发镀膜，要求从蒸发源出来的蒸汽分子或原子，到达被镀膜基片的距离要小于镀膜

行星周转镀膜装置设计 真空技术网

2015年3月25日  根据镀膜机的结构和运动要求，利用镀膜机上部的原有回转盘垂直方向的转动形成太阳轮系，带动行星周转轴组件与一个定盘接触，形成行星轴组件沿垂直腔体内轴线公转的同时，沿自身水平的回转轴方向自转，从而使行星轴组件前端装夹的圆柱形腔体杜瓦瓶

行星式公转和自转技术的原理和特点三辊研磨机真空脱泡机

2023年4月29日  三辊研磨机真空脱泡机脱泡搅拌机苏州中毅精密科技有限公司深圳中毅科技有限公司 中毅创立于2007年，是中国超细分领域的精密设备制造商。专注于混合、分散、脱泡、灌装、涂布与检测制备技术的研发、制造和销售，致力于为客户提供全链条解决方案。

一种用于镀膜机公转自转可独立调节自转速度的工件架的

2022年8月20日  1本实用新型涉及镀膜领域，具体为一种用于镀膜机公转自转可独立调节自转速度的工件架。背景技术： 2真空镀膜机有的工件在镀膜过程为了实现镀膜均匀性，需要工件作公自转，工件的自转是通过公转的工件架带动的，大工件架在均布有多个小工件架， 小工件架和大工件架通过轴承固定，小工件

一种立式真空镀膜机通过磁力驱动自转机构的工件转架 豆丁网

2023年12月12日  权利要求书2页说明书6页附图7页CNU20230523CNU1一种立式真空镀膜机通过磁力驱动自转机构的工件转架，包括公转盘和自转轴，所述自转轴以所述公转盘的旋转轴为中轴，沿周向转动安装在所述公转盘上，随同所述公转盘绕所述中轴作

第八章真空镀膜机的设计 百度文库

第八章真空镀膜机的设计82真空镀膜机的分类 ——按作业方式划分 （1）间歇式（周期式） 特点：一个真空室。如钟 罩式、盒式的蒸发、溅射镀膜机。 一个周期内的工序：装料、抽空、镀膜、放气、出 炉。 （2）半连续式（节拍式） 特点：常常有2个或

什么叫公转和自转？ 百度知道

2021年6月6日  1、地球公转 是指地球按一定轨道围绕太阳转动（The Earth revolution around sun）。像地球的自转具有其独特规律性一样，由于太阳引力场以及自转的作用，而导致的地球公转，也有其自身的规律。 地球的公转遵从地球轨道、地球轨道面、黄赤交角、地球公转的周期、地球公转速度和地球公转的效应等规律。

不同的真空镀膜机适用范围及分类

2020年7月26日  真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜，包括真空离子蒸发镀膜机、磁控溅镀膜机射、MBE分子束外延镀膜机和PLD激光溅射沉积镀膜机等很多种。主要是分成蒸发和溅射两种。在真空镀膜设备中需要镀膜的被成为基片，镀的材料被成为靶材。

SYRUSpro 真空镀膜机系列 布勒莱宝光学

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一种用于真空镀膜机的新型自公转机构的制作方法

2023年4月26日  本实用新型属于真空镀膜机设备技术领域，具体涉及一种用于真空镀膜机的新型自公转机构。背景技术随着科学技术的飞速发展，真空镀膜的技术已经得到普遍应用，在镀制薄膜时，有的工件是平板型，有的工件是球形。在镀制球形工件时，由于工件本身存在凹凸形状，高点和低点存在距离差，且

真空镀膜机：科技与应用的完美结合无锡光润真空科技有限公司

2024年3月20日  真空镀膜机是一种先进的科技设备，通过在真空环境下对物体表面进行薄膜涂覆，应用于电子、光学、汽车、医疗等领域。本文将介绍真空镀膜机的原理、应用以及未来发展趋势。 一、原理与工作方式 真空镀膜机利用真空环境下的物理和化学过程，将薄膜材料沉积在物体表

用于真空镀膜的水平方向公自转机构 Google Patents

2009年12月18日  本实用新型提供一种用于真空镀膜的水平方向公自转机构，包括公转传动组件和自转传动组件；公转传动组件包括一端通过齿轮与真空镀膜机动力源连接的主轴，主轴另一端设有用于固定至少一个立体物安装杆的支架；自转传动组件包括设于主轴一侧的传动杆、分别设于传动杆两端的顶端齿轮和底端

用于真空镀膜的水平方向公自转机构 Google Patents

2009年12月18日  本发明提供一种用于真空镀膜的水平方向公自转机构，包括公转传动组件和自转传动组件；公转传动组件包括一端通过齿轮与真空镀膜机动力源连接的主轴，主轴另一端设有用于固定至少一个立体物安装杆的支架；自转传动组件包括设于主轴一侧的传动杆、分别设于传动杆两端的顶端齿轮和底端齿轮

一种用于真空镀膜机的自转式工架机构 百度学术

摘要： 一种用于真空镀膜机的自转式工架机构,自转齿轮机构包括有旋转缸,旋转缸的旋转轴穿过镀膜机本体,该旋转轴连接有曲柄摇杆机构,曲柄摇杆机构的另一端连接有导向滑块,导向滑块的下方活动连接有导向轨,导向滑块的上方固定连接有齿条,自转齿轮套设于挂架组件的底端,本实用新型的通

不同的真空镀膜机适用范围及分类真空镀膜康沃真空网

2020年11月20日  真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜，包括真空离子蒸发镀膜机、磁控溅镀膜机射、MBE分子束外延镀膜机和PLD激光溅射沉积镀膜机等很多种。主要是分成蒸发和溅射两种。在真空镀膜设备中需要镀膜的被成为基片，镀的材料被成为靶材。

工件架旋转系统以及真空镀膜设备[发明专利]百度文库

2020年10月23日  4 如权利要求3所述的工件架旋转系统 ，其特征在于，所述驱动装置包括公共驱动装 置； 所述传动机构包括传动动连接在所述公共驱动装置和所述公转盘之间的公转传动机 构、以及传动连接在所述公共驱动装置和所述自转盘之间的自转传动机构； 其中 ，所述

浅析镀膜机结构原理及检漏技巧 百度文库

一 真空镀膜机的构成及原理 真空镀膜机由3部分组成(见图1)：抽真空系统、电气系统及镀膜室，其中抽真空系统包括机械泵和油扩散泵两部分。 在室顶部及靶中心水平安装一个制有“V”形滚珠导轨的固定内齿圈，作为工件架公转盘的支撑轨道。

自转与公转离心真空脱泡搅拌机比例需了解

2023年7月4日  除了公转和自转的设定比例外，还需要关注夹层框架内的真空度。在正常运转时，离心真空脱泡搅拌机 需要保持一定的真空度来保证物料在脱泡的同时不受到氧化或污染等不利影响。因此，必须要将其在使用前进行清洗消毒，并且保持清洁状态。

新型镀膜机转架的制作方法

2017年4月21日  本发明涉及机械技术领域，尤其涉及一种新型镀膜机转架。背景技术现有的镀膜机转架都是简单的公自转，只要启动转架的传动装置，转架在镀膜机内部就会不停的旋转，无法进行选择性的旋转。有公、自转的转架，在镀膜过程中公转和自转都在不停的转动，不能有选择性的镀膜。而只有公转的转架

电阻热蒸发真空镀膜机原理和使用 百度文库

随着工业自动化和智能化技术 的进步，电阻热蒸发真空镀膜 机将实现更加智能化的控制， 提高生产效率和产品质量。 环保节能 随着环保意识的提高，电阻热 蒸发真空镀膜机将更加注重环 保和节能设计，减少对环境的 影响。 02 电阻热蒸发真空镀膜机使用 操作

真空镀膜机工作原理及结构介绍真空镀膜机的原理和各部件

真空镀膜机工作原理及结构介绍真空镀膜机的原理和各部件分析气体，可是对水汽没有好的效果，所以它不能抽除水汽。 旋片泵中起首要效果的部件是定子、转子、弹片等，转子在定子里边但与定子不一样心轴，象两个内切圆，转子槽内装有两片弹片，两弹片中心装有绷簧，确保了弹片紧紧

真空镀膜 (PVD)工艺介绍 豆丁网

2012年9月11日  电源回路加热真空镀膜金属蒸发样品高真空状态自转公转真空镀膜法示意图12：真空镀膜技术及设备发展b离子镀膜法：蒸发源的加热和真空镀膜法相同。由于系统为等离子状态，使金属离子在样品表面吸附使金属离子在样品表面吸附・・成膜成膜。

真空镀膜（一种机械工程）百度百科

真空镀膜是真空应用领域的 一个重要方面，它是以真空技术为基础，利用物理或化学方法，并吸收电子束、分子束、离子束、等离子束、射频和磁控等一系列新技术，为科学研究和实际生产提供薄膜制备的一种新工艺。简单地说，在真空中把金属、合金

工件架旋转系统以及真空镀膜设备的制作方法 X技术网

2021年1月23日  本实用新型涉及真空镀膜加工技术领域，尤其是一种工件架旋转系统以及真空镀膜设备。背景技术现有的pvd(physicalvapordeposition的缩写，中文意思是“物理气相沉积”)镀膜(通常称之为真空镀膜)中需要将工件放置在真空室中进行镀膜，由于靶材固定，所以需要将工件进行旋转，现有的工件的旋转形式都

真空镀膜机价格最新真空镀膜机价格、批发报价、价

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公自转转架装置及真空镀膜机 豆丁网

2024年1月9日  实用新型内容 [0004] 本实用新型的目的在于提出一种公自转转架装置及真空镀膜机，该公自转转架装 置产生的颗粒少，且公转盘内部产生的颗粒不易进入真空镀膜室，提高了应用该公自转转 架装置的真空镀膜机的镀膜质量。

平面行星系统修正挡板校正膜厚均匀性 ResearchGate

2024年8月21日  但是，由于真空镀膜 机中行星系统公转、自转的灵活调节，放置在真空镀 膜机行星夹具上的平面光学元件具有很好的位置随 机性，导致修正挡板

一种真空镀膜机行星式工件架[发明专利] 百度文库

2013年9月11日  7 根据权利要求 l、5、6 所述的真空镀膜机行星式工件架，其特征在于 ：所述链轮至少 有一个链条张紧器。 8 根据权利要求 2 所述的真空镀膜机行星式工件架，其特征在于 ：所述转笼行星架一 端外Βιβλιοθήκη Baidu的表面设一屏蔽挡板，环包转笼行星架一端外径和旋转体。

真空镀膜机 百度百科

真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜，具体包括很多种类，包括真空电阻加热蒸发，电子枪加热蒸发，磁控溅射，MBE分子束外延，PLD激光溅射沉积，离子束溅射等很多种。主要思路是分成蒸发和溅射两种。

公转与自转均可独立调速的真空镀膜机工件转架运动机构的

真空镀膜机内都置有用于装夹被镀工件的工件转架运动机构。以立式真空离子镀膜机为例，常用的工件转架运动机构的运动方式通常可分为两重运动或三重运动，自转盘随公转盘公转的同时并进行自转，部分镀膜机除前述基础运动外，还具有第三重运动，即工件自身自转或间歇式自转。现有技

真空镀膜 SJTU

2004年9月6日  现以真空蒸镀、真空溅射为例，介绍真空镀膜的基本原理和工艺过程。其它镀膜方法，如离子蒸镀、气相沉积等，可参阅有关著作。 原理 1．真空蒸发镀膜 蒸发镀膜，要求从蒸发源出来的蒸汽分子或原子，到达被镀膜基片的距离要小于镀膜

行星周转镀膜装置设计 真空技术网

2015年3月25日  根据镀膜机的结构和运动要求，利用镀膜机上部的原有回转盘垂直方向的转动形成太阳轮系，带动行星周转轴组件与一个定盘接触，形成行星轴组件沿垂直腔体内轴线公转的同时，沿自身水平的回转轴方向自转，从而使行星轴组件前端装夹的圆柱形腔体杜瓦瓶

行星式公转和自转技术的原理和特点三辊研磨机真空脱泡机

2023年4月29日  三辊研磨机真空脱泡机脱泡搅拌机苏州中毅精密科技有限公司深圳中毅科技有限公司 中毅创立于2007年，是中国超细分领域的精密设备制造商。专注于混合、分散、脱泡、灌装、涂布与检测制备技术的研发、制造和销售，致力于为客户提供全链条解决方案。

一种用于镀膜机公转自转可独立调节自转速度的工件架的

2022年8月20日  1本实用新型涉及镀膜领域，具体为一种用于镀膜机公转自转可独立调节自转速度的工件架。背景技术： 2真空镀膜机有的工件在镀膜过程为了实现镀膜均匀性，需要工件作公自转，工件的自转是通过公转的工件架带动的，大工件架在均布有多个小工件架， 小工件架和大工件架通过轴承固定，小工件